ゾル・ゲル法とも呼ばれ，特にセラミック原料粉の製造法として注目を集めている液相微粒子製造法である。この方法で用いられる有機金属化合物としては，Mⁿ⁺(OR)_n^-（M：金属元素，R：アルキル基）という一般式で表わされる金属アルコキシドが代表的である。金属が酸素を介して炭素と結合しているアルコキシ基は容易に加水分解されて，金属酸化物または水酸化物とアルコールとなる。しかし実際には，Mⁿ⁺(OR)_n^-の反応には加水分解と縮重合が並列して生じ，中間生成物として高分子縮合が生成される。沈殿が酸化物の場合はそのまま乾燥すればよいが，水酸化物および水和物の場合は仮焼する必要がある。金属アルコキシドの種類を選ぶことにより，化学的に均一な酸化物粒子が，粒子径数十Åから数百Åの範囲で製造される。