定格風量で，粒径が 0.15 μmの粒子に対して 99.9995 % 以上の捕集効率をもち，かつ，圧カ損失が一般に 300 Pa（30 mmH₂O）以下の性能をもつ工アーフィルター，と定義されるフィルターユニットである。HEPAフィルターと比べてろ材（濾材）の繊維径は細く，フィルターの折込み密度は高い。スーパークリーンルームで用いられる。

→　工アーフィルター，HEPAフィルター