粉体工学用語辞典 powderpedia: Glossary of Powder Technolog

一般社団法人粉体工学会

エアーフィルター

air filter

 ろ過集塵(濾過集塵)装置の一つであるが,バグフィルターと異なり,低粒子濃度の大気塵を対象とするので,空気清浄装置として位置づけられる。ろ材(濾材)の材質の大部分はガラス繊維であるが,合成繊維が増えてきつつある。ろ材構造は積層状,不織布,ろ紙状の繊維層であり,これらが,マット形,くさび形,折込み形,かご形,袋形,パネル形,ボックス形などのユニットにして使用される。空間率は 95 % 以上あるので,粒子はフィルター内部の個々の繊維で捕集され,濃度はフィルター厚さ方向に対数的に減少する。エアーフィルターは,粗塵用(粒径 5 µm 以上),中性能(5 µm 以下),高性能フィルター(1 µm 以下)に大別され,それぞれ,繊維径 10 µm 以上,1~10 µm,1 µm 以下の繊維径のものが使用される。半導体プロセスガス用のメンブレンフィルターも工アーフィルターに分類される。

→ 繊維層フィルターろ過集塵(濾過集塵)バグフィルター対数透過則単一繊維HEPAフィルターULPAフィルターメンブレンフィルター

執筆者:粉体工学用語辞典
更新日:2021/6/11

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