ノズルと衝突板を組み合わせた粒子捕集器（インパクター）を数段直列に組み合わせた装置で，一段ごとに分離粒子径が小さくなるようにノズル径を順次小さくしてある。このためカスケードインパクター内に吸引された粒子は各段で粒子径別に捕集されるので，各段において捕集効率が 50 % となる粒子径（ストークス径）を代表値とし，それに対応する捕集粒子質量を測定することで，エアロゾル中の粒子の粒子径分布を直接測定できる。
　各段に複数個のノズルを設置したタイプ，最終段を臨界ノズルとして吸引気流流量を一定とするタイプ，インパクター内を減圧状態にして微小粒子まで捕集できるようにしたタイプなどが考案され，市販もされている。また，質量測定を圧電素子により自動で行うタイプなど，質量測定法を工夫したものも市販されている。

→　インパクター，慣性分級