化学反応による微粒子の発生の評価は，化学反応が複雑なので容易ではないが，化学反応により生成された物質のうち，過飽和の状態となる物質が均一核生成により粒子化する。気相中での化学反応は主に，分解，部分分解，酸化，還元，置換，交換などに分類される。気相反応による粒子の生成のほとんどは，高温下でのガスの化学反応が関与しており，熱源の種類により分類すると，(1) 化学炎プロセス（燃焼プロセス），(2) プラズマプロセス，(3) レーザープロセス，(4) 電気炉加熱プロセスとなる。化学反応による微粒子の生成を考えるには，まず化学反応が進行するかを熱力学的に検討し，次に粒子がどのように発生および成長するかを速度論的に調べることで，粒子の生成が定性的に評価される。