固体を含む反応。すなわち，固体内あるいは固体間で起こる化学反応とそれを含む反応で，固体—固体，固体—液体，固体—気体間の反応の三つに大別できる。微粒子を生成するには，固相，液相あるいは気相から生成する方法があり，固相法で微粒子を生成する場合に，固相反応が関与する。一般に，微粒子の生成に関与する固相反応は，拡散現象である。多成分系の酸化物微粉体を調整する場合に，それぞれの酸化物をボールミルなどで混合し，仮焼して微粒子を得るが，このとき関与する反応が固相反応である。拡散現象には，表面拡散，体積拡散，粘性流動などがあるが，これらは微粒子の焼結現象において非常に重要となる。
　固相反応は，不均一反応で，気相反応や液相反応のような均一反応にはない特徴を有している。固相内での物質移動は一般に困難であり，固相反応は拡散律速である。固体内の物質移動を促進するためは，一般に温度と圧力を用いる。