気相合成法または気相反応法などと呼ばれ，気相の化学反応を経て各種形態の固体を析出させる方法の総称である。析出する形態には化学反応で生成した蒸気分子が他の固体表面に凝縮する不均一核生成（有核凝縮）と成長による膜形成と，気相で蒸気分子が凝縮する均一核生成（無核凝縮）と成長による粒子生成がある。いずれの成長も目的の段階で止めることが可能であり，前者は薄膜製造やコーティングに，後者は超微粒子製造として重要な技術となっている。この方法による粒子生成法は，

1. サブミクロン以下の，粒子径分布の幅の狭い超微粉が得られる。
2. 純度の高い反応ガスを用いると高純度の粒子が得られる。
3. 金属やその酸化物はもとより，窒化物，炭化物，ホウ素化物など他の方法では直接合成が困難な非酸化物の微粒子が容易に得られる，

などの特徴がある。

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