静電気力により粒子の捕集効果を高めたフィルター。ろ材（濾材）直前に粒子荷電装置をおいたもの，ろ材に外部電界を与えたもの，両者を組み合わせたものがある。機械的ろ過に比べて，格段に高い集塵率が得られるが，安定性と保守管理の面でやや難点がある。半永久的に静電分極を起こしている繊維よりなるエレクトレット繊維層フィルターは，安定な帯電フィルターとして注目されているが，初期の高い集塵率が長時間持続せず，時間とともに低下していく傾向にあるので，この点の克服が課題である。

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