粒子の捕捉がろ材内部の奥深くまで行われる希薄スラリーのろ過であり，深層ろ過ともいう。内部ろ過では，一般に液中に懸濁している微粒子がそれよりはるかに大きなろ材構成粒子の間隙に捕捉される。このような場合には，まず微粒子が重力沈降，ブラウン運動，さえぎり効果，などの複合作用によりろ材粒子の表面まで輸送され，静電気力やファンデルワールス力，またはふるい効果（篩効果）によってろ材表面に捕捉される。

→　深層ろ過（深層濾過）