気相および液相中に浮遊する微粒子分散系に光を照射し，その散乱光強度の計測により，微粒子の粒子径分布および粒子数濃度を同時に測定する装置で，ほぼ確立した装置で実用化されている。この計測手法の特徴は，サンプリング流量，計測可能な濃度範囲，粒子径の測定精度，計数効率，クロスセンシティビティーを含めた粒子径分解能によって評価される。粒子径を求めるには，ミーの光散乱理論を用いて粒子径と散乱光強度との関係，すなわち応答特性を，散乱光を受け取る光学系の検出部の立体角に応じて，あらかじめ計算しておく必要がある。粒子数濃度の測定値は，測定された粒子径ごとの積算値として記録され，最終的に粒子径分布として表示される。市販品のほとんどは，光源として高出力のレーザー光を用いており，測定できる最小粒子径は，0.1 µm 以下となっている。同時に測定可能な粒子数濃度も，観測体積の減少により，エアロゾルでは 10¹² 個 m^-3 まで増加している。