不活性ガスの吸着等温線に BET 吸着等温式を適用して単分子層吸着量を算出し，この値と吸着分子の分子断面積を用いて算出した粉体の単位重量当たりの表面積をいう。通常気体分子として不活性ガスである窒素を用い，液体窒素温度下相対圧 0.05～0.35 の圧領域で吸着量を測定する。この圧領域で BET の吸着等温式は成立するので測定点の BET プロットは直線となる。単分子層吸着量はこの直線の勾配と切片から求められる。比表面積が小さいとき測定の精度を上げるため，窒素の代わりにアルゴン，クリプトンが利用される。