空気中の微細な粉塵をほとんど 100 % 捕集する高性能フィルターで，エアーフィルター性能試験法により，定格流量で粒子径 0.3 µm の粒子に対して，99.97 % 以上の捕集効率をもち，かつ，初期圧力損失が一般に 300 Pa （30 mm H2O） 以下の性能を持つエアーフィルター，と定義される。通常の HEPA フィルターは，繊維径 1 µm 以下，充塡率 5 % 前後の微細繊維層ろ紙（濾紙）でできており，これをジグザグ状に折り，枠組みにしたユニットとしてクリーンルームなどに使われることが多い。
→ エアーフィルター，
繊維層フィルター，
ULPAフィルター
執筆者：粉体工学用語辞典
更新日：2021/9/21
