粉体工学用語辞典 powderpedia: Glossary of Powder Technolog

一般社団法人粉体工学会

ミリポアフィルター(商品名)

Millipore filter

 メンブレンフィルターの一種。米国ミリポアリミテッド社が開発したセルロースの混合エステルでできた薄膜フィルターで,厚さ 125 ~ 150 µm,空隙率 60 ~ 80 %,0.025 ~ 14 µm の範囲で,各種孔径のものが市販されている。液・ガス両用に使用され,孔径以上のものは完全に捕集されるので,当初はサンプリング用にもっぱら使用されてきたが,いまでは主として半導体分野で,超純水用,プロセスガス用へと用途が広がった。耐薬品性,耐熱性などの異なる材質の各種フィルターが市販されている。

→ メンブレンフィルター

執筆者:粉体工学用語辞典
更新日:2021/9/12

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