本来は合成樹脂の重合の出発物や，重合体を構成する反復単位を表わすが，CVD法による微粒子や薄膜の生成過程で，化学反応によって発生した最小単位の物を一般にモノマーという。古典的核生成理論では，気相中のモノマー濃度が過飽和に達すると，核生成を起こすと考えられている。