粒界またはその近傍における高速拡散をさし，特に低温において重要である。高速拡散の理由は，粒界や近傍では原子充塡構造が乱れており，拡散のための熱的欠陥を新規に形成する必要がないからである。高温では，固体内の熱的欠陥が増し全体の物質移動を支配するため，粒界拡散は目立たなくなる。粒界拡散は材料の高温特性や焼結現象で重要な役割を果たす。また，粒界領域にのみ添加物原子を入れるのに利用される。

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